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檢測晶舟的位置和(hé)角度 、測量晶圓盤的間(jiān)距

發布時(shí)間(jiān)：2024-01-06 訪問量：592 來(lái)源：本站(zhàn)

1、分兩個(gè)工位

2、工位一識别晶舟的位置和(hé)角度

3、工位二識别晶圓盤的間(jiān)距（2個(gè)相機，遠心鏡頭）

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